2023年中國掩膜版行業市場現狀及發展趨勢分析 行業國產化進程加速【組圖】

行業主要上市公司：清溢光電(688138);路維光電(688401);中芯國際(688981);華宏半導體(01347)等

本文核心數據：中國掩膜版行業國內外企業原材料技術對比;全球主要掩膜版原材料公司布局現狀;中國半導體光刻膠自給率情況

國內外掩膜版領域技術對比

掩膜版的主要原材料為掩膜基板，即涂有光阻和鍍鉻的玻璃基板。掩膜基板的質量，對掩膜版產品最終品質具有重大影響。我國掩膜版行業領先企業已在光阻粘度調整優化、光阻膜厚及均勻性優化等方面取得了大量的成果，并成功將其應用到G11、G8.5、G8.6高世代掩膜版產品中，實現了國內掩膜版行業在高精度、大尺寸光阻涂布技術上零的突破及對產業鏈上游技術的成功延伸，一定程度上縮小了與國外領先企業的差距。具體原材料技術對比情況如下：

再從掩膜版技術布局來看，半導體掩膜版技術壁壘高，工藝難度大，長期被美國福尼克斯等國外的龍頭企業所壟斷。以路維光電為例，路維光電在超大尺寸平板顯示用掩膜版的生產能力方面打破了國外廠商的長期壟斷，但與國外先進技術相比仍存在一定差距，主要體現在光刻、顯影、蝕刻等工藝的細節上。

核心技術主要掌握在國外廠商

目前，中國只有少數廠商具備上游基材生產能力，大多數掩膜版企業主要采用采購掩膜版基材的方式。

根據路維光電招股說明書，公司所需原材料中，高世代石英基板及光學膜的供應商集中于日本、韓國，目前國內暫無供應商可提供替代品，因此原材料存在一定的進口依賴。全球主要掩膜版原材料公司布局情況如下：

掩膜版相關材料自給率保持較低水平

隨著近年來我國半導體產業和顯示面板產業的迅速發展，國內光刻膠生產商在這些細分市場的供給量較小，需求主要依賴于進口，目前，6英寸硅片的g/i線光刻膠的自給率約為20%;8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠尚沒有國內企業可以大規模生產?？梢钥闯?，在高端光刻膠市場，國內市場是明顯處于供小于求的狀態的。

國產化趨勢分析

總體來看，美國修訂《出口管理條例》將250nm及以下制程的掩膜版納入限制清單，而國內晶圓廠多不具備掩膜版生產能力，國產替代確定性強，預計未來將有更多龍頭企業加快生產技術研發投入，盡快實現掩膜版國產替代。

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